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1200℃多坩埚依次移动型管式炉

产品时间:2019-03-12

简要描述:

1200℃多坩埚依次移动型管式炉是一款炉管可在炉管内部移动的(在真空气氛保护环境下移动)管式炉,最多可依次移动4个坩埚。特殊的坩埚推送机构,可将坩埚在炉管内推出后再拉回,让坩埚能做往返移动。坩埚移动位置&炉体的温度控制都采用一触摸屏控制。此款设备可进行物理化学混合沉积(HPCVD),快速热蒸发(RTE)等实验,特别适合制备多层二维晶体材料。

1200℃多坩埚依次移动型管式炉

免责声明:本站产品介绍内容(包括产品图片、产品描述、技术参数等)仅供参考。可能由于更新不及时和网站不可预知的BUG造成数据与实物的偏差。如果您对参数有异议,或者想了解产品详细信息,请与本公司销售人员联系。本站提供的信息不构成任何要约或承诺,科晶公司会不定期完善和修改网站任何信息,恕不另行通知,请您见谅。

 

1200℃多坩埚依次移动型管式炉技术参数

开启式管式炉

  • 双温区管式炉:两个独立的温控系统分别独立控制两个温区
  • 加热区长度:温区1:200mm, 温区2:200mm
  • 炉管材料:高纯石英
  • 炉管尺寸:外径: 60 ×内径: 54×长: 760 mm
  • 温度曲线图(两个温区设置在800℃时所测,仅供参考)(可点击图片查看详细资料))
  • 最高工作温度:1200℃(<1hr)
  • 连续工作温度:1100℃
  • 控温精度:+/-1℃
  •   

真空密封

  • 配有不锈钢密封法兰,上面安装有不锈钢截止阀和机械压力表
  • 进气端法兰接口为Φ6。35卡套接头,出气端法兰接口为KF25接口
  • 法兰密封圈采用水冷却,使用时需要通入冷却水,可在本公司选购循环水冷机
  • 真空度:10E-2 torr(采用机械泵),10-E5 torr(采用分子泵)
  •   

坩埚移动机构(转轮式法兰)

  • 一根铠装热电偶通过左端法兰通入到炉管内部,并与坩埚相连接(图1)
  • 通过步进电机驱动使坩埚移动,并和热电偶和坩埚一起移动,实时监测样品的温度
  • 进气端法兰转轮式法兰(图2)
  • 可同时在转轮系统中放入4个坩埚,可交替将放入4种材料的石英坩埚自动送入到石英管中(可在真空状态或气氛保护状态进行运作)
  • 图片1图片2  

 

坩埚移动控制

  • 通过一步进电机控制坩埚移动的速度和位置
  • 可控制坩埚最小移动位移为1mm
  • 坩埚最大移动距离为200mm
  •   

防腐型数显真空计

 

  • 配有一数显防腐型真空计
  • 当气压在10mbar以上时,不需因测量气体种类不同而进行系数转换
  • 对于气体的压力检测具有较高的精确度和重复性
  • 因为传感器上镀有涂层,所以具有较好的抗腐蚀性
  • 测量范围:3。8x10-5 -1125 Torr

混气系统

  • 此套设备中配有一2路混气系统
  • 最大输出功率:18W
  • 工作温度:5-45℃
  • 最大气压:3×106Pa
  • 精度:±1%FS
  • 质量流量计量程:
  • 1:0-100sccm
  • 2:1-199sccm
  • 可根据客户要求选购1-5路供气系统

产品尺寸

2400L×600W×1300mm H
    

国家

 

 

     

 

质保

一年质保期,终生维护(不包含炉管,密封圈和加热元件)

质量认证

  • CE认证
  •  
  • 所有电器元件(>24V)都通过UL / MET / CSA认证
  • 若客户出认证费用,本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证
         

使用注意事项

  •  
  • 炉管内气压不可高于0.02MPa
  • 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全
  • 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态
  • 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
  • 石英管的长时间使用温度<1100℃
  • 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0。02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)

应用注意事项

  • 此款管式炉具有多种用途
  • 热蒸发:把蒸发料放在坩埚里,通过移动坩埚来精确找到所需要的蒸发温度
  • HPCVD:和热蒸发相似,可通入反应气体与蒸发的物料反应后再沉积
  • 可用于制作多层二维晶体
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